在啟動工業高純水設備時，要先接通水源，檢查超純水設備的管路是否正常，再接通電源，在停止使用超純水設備時，應先斷開電源，再關斷水源。超純水設備使用時應該長期通電、通水，由于超純水設備本身都具有自動控制功能，如經常斷電斷水會影響超純水設備的正常使用。使用超純水設備時，應按要求定期更換各級濾芯，保證超純水設備的使用壽命和出水水質。

如果工業高純水設備長期不使用，應該先關斷電源、水源，再將設備內儲存的超純水全部放出。超純水設備連續使用數月后，用戶需要根據使用情況將超純水設備內儲放的超純水全部排放一次，這樣能起到清洗的作用，同時也能夠保證水源的清潔。擦洗超純水設備表面時，應采用一些中性的清潔劑，這樣不僅能夠防止超純水設備銹化，還能夠使得超純水設備干凈如新。

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